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金屬、無機材料的微波氮化處理

2013-10-25
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金屬、無機材料的微波氮化處理

   金屬、無機材料的氮化處理裝置往往采用等離子體發(fā)生室和處理室合一的裝置。以金屬的氮化處理為例,使用氮和氫的混合氣體,加入氫的目的就是除去金屬表面的氧化物,使氮化容易進行。在離子體中,除了有氮和氫的原子的電離、分子的電離外,同時存在著活潑的氮原子和氫原子等粒子。這些活潑的原子、離子和金屬表面發(fā)生作用,生成氮化物。典型的處理條件是,氣壓為0.1?。裕铮颍蛞唬薄。裕铮颍?,流量為10m1/min100m1/min,微波能功率為0.5kW?。。常耄?,處理時間為幾十分到幾小時。

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