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微波等離子體的特點(diǎn)

2013-10-25

微波等離子體的特點(diǎn)

  (1)活性強(qiáng),微波等離子體對氣體的電離和離解程度比其他類型的等離子體(如電弧等離子體)高10倍。因此,微波等離子體更能增強(qiáng)氣體分子的激發(fā)、電離和離解過程,激發(fā)的亞穩(wěn)態(tài)原子多。例如氮在直流及射頻放電時(shí),用光譜方法測不出有氮原子譜線,但在微波等離子體中都出現(xiàn)氮譜線。說明氮在直流和射頻放電中,即使能分解成氮原子,也只是激發(fā)態(tài)的氮。

 ?。ǎ玻┓磻?yīng)區(qū)內(nèi)沒有電極,因此,消除了電極自身造成的污染。適合于作高純度物質(zhì)的制備和處理,而且工藝效率更高。

  (3)反應(yīng)區(qū)內(nèi)的壓力能在很寬范圍進(jìn)行調(diào)整。

 ?。ǎ矗┪⒉ǖ入x子體中自由電子的溫度高于離子的溫度,因此,通過適當(dāng)?shù)碾姶艌?、氣壓、氣體種類的選擇和調(diào)整,可控制反應(yīng)區(qū)中的溫度范圍。

 ?。ǎ担├梦⒉姶艌龅姆植继攸c(diǎn),即所謂“空洞結(jié)構(gòu)”,有可能把等離子體封閉在特定的空間;也可以利用磁場來輸送等離子體,這樣做的目的是讓工藝加工區(qū)域與放電空間分離這樣一來,即便于采取各種相宜的工藝措施,又能避免等離子體的輻射損傷或消除可能產(chǎn)生的某些副反應(yīng)。

   由于具有上述的特點(diǎn),微波等離子體在材料的合成、燒結(jié)、沉積和浸蝕、表面處理等方面。

      

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